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布里奇曼拉晶炉

发布时间:2021-08-18  浏览次数:192


设备简介:

    适用于布里奇曼方法(坩埚下降法),在真空、保护气氛或氧化气氛下的晶体生长,可预存15组工艺曲线,工艺曲线包括温度,气体流量,晶体进给速度(长晶速率),任意切换;长晶结束,报警提示,生成实验报告并导出(包含但不限于温度,气体流量,进给速率等)。





 

 

 

 

 

 



配置详

 

项目

设备技术指标选择

加热系统

 

晶体生长环境选择

氧化气氛/保护气氛/真空状态

长晶温区选择

单温区200mm /300mm/400mm

双温100 100/200 200mm /300 300mm

三温:200 200 200mm

反应腔尺寸选选择

φ50/φ60/φ80/φ100更多选择联系客服

主控最高工作温度

1150/1650

控温精度

300~1150±0.5

主控炉膛材料

高纯多晶纤维复合耐火保温层

主控炉膛模式

环形加热整体密闭

密封方式

水冷不锈钢密封法兰

提拉系统


长晶模式选择

坩埚下降法 /坩埚平移法

物料装载模式

上吊装下推进模式/下装载模式

晶体运动方式选择

坩埚只移动/ 坩埚移动并旋转

结构

双层滑轨结构,c7大力距滚珠丝杠spy铝托光轴直线导轨

长晶进给系统

伺服进给高精度运行平稳,大扭矩谐波减速进给速度30μm/hr~30000μm/hr可调,物料下推进运动模式,无旋转

装料密封方式

电动密封法兰

装料密封电机

57cm23闭环步进电机,平稳高速

气系统

 

流量计选择

1/2/3路质子子流量计100sccm  200sccm  ,500sccm            

气路管芯

专用不锈钢气体管道(1/4"

调节阀类型

手动调节阀

管道常态

常闭

测量精度

±1.0%f.s

线性度

±0.5%f.s

重复精度

±0.2%f.s

压力范围

-0.1-0.15 mpa

响应时间

2s

工作环境温度

(1550)

精度保证温度

(1535)

真空系统


真空类型选择

nbd-4c真空泵/ nbd-1013a 分子泵系统

真空计类型

数字真空计/模拟真空计

系统真空

5pa  /2.8*10-3pa

操控系统


操控模式

nbd-101ep嵌入式操作系统中英文互换图形界面,10寸真彩触屏输入,智能式人机对话模式;

长晶工艺设置

可预存15组工艺曲线,工艺曲线包括温度,气体流量,晶体进给速度(长晶速率),任意调用;长晶结束,报警提示,并生成实验报告导出,()包含但不限于温度,气体流量,进给速率等)

温度校正

主控控温温度和试样温度的差值,系统全程进行非线性修正(询问客户长晶温度点,可做特别效验)

实现功能

可适用于布里奇曼法在真空或气氛或空气状态生长的各类晶体(坩埚下降法)

系统保护

超温报警,过流保护,断偶提示

随机产品配置

反应腔1 ,镍铬铝吊丝5米 ,说明书1;随机工具等。

服务项目

运输保险费,包装费,安装及技术服务费; 提供12个月质保,触控系统24个月,终身保修




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