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离子溅射仪

发布时间:2020-11-20  浏览次数:2976


 

设备简介:

nbd-lj13离子溅射仪为扫描电镜制作样品而设计,结构简单、操作使用直观方便等特点。不需要很高的真空度就可以对扫描电镜样品进行离子溅射,可作为扫描电镜样品镀膜的基本设备。

 

 

 

 

配置详情

      产品型号:nbd-lj13

 

主要特点

1.采用4c静音真空泵,各方面降噪,提升实验感受;

2.标配样品室真空表和溅射电流表,实时显示和监控仪器状态;

3.边缘橡胶密封圈,长期使用不会出现影响样品溅射室真空度的玻璃钟罩“崩边”现象。

4.配置溅射电流控制器和微型真空气阀。结合自动控制电路,轻松控制真空室压强、电离电流,并可任意选择所需电离气体,以获得很好的镀膜效果;

5.标配φ58mm x 0.12mm 大尺寸纯金靶,溅射范围更大;

 

 

控制面板:

真空表:真空度的计量单位mmhg或pa相对应的刻在表盘上,可方便的读出工作室内的真空度。

电流表:显示溅射电流值单位(ma)。

微调阀(充气阀):用于向工作室内进行充气,

试验按钮:配合针阀设置,以便获得满意的溅射电流值(小于10ma)。

溅射按钮:当“实验”按钮电流小于10ma时,可以按“溅射”按钮,对样品进行离子溅射。

时间设定开关:控制离子溅射时间,定时开关10~110s.

电源开关:控制仪器机箱电源及机械泵的通断。

 

高纯石英真空腔体φ130(内118)*130mm

样品台尺寸:φ42mm                                   

样品台可调高度:75mm                                                            

电气规格

ac220v   120w

腔体尺寸

φ130(内118)*130mm

样品台尺寸

φ42mm

样品台可调高度

样品台可调高度:75mm

样品温度

<35~50

适用靶材

贵金属aupt、pd合金au-pt、au-pb 常规金属cu、w、ag 、cr 等

溅射速度

一般来说,用于扫描样品时金属的厚度为100-300å,采用经验法测定厚度,可由下面的公式得到

d = kivt

其中: d:是镀膜厚度(单位å)

k:是常数,取决于溅射金属和所充气体(采用金靶和氩气时k为0.17,金靶和空气k为0.07),此时靶与样品之间的距离

i: 是等离子流(单位ma)

v:是所施电压(单位kv)

t“”是时间(单位s)。

例如采用金靶和氩气,l为8ma,t为100秒,v为1kv

则, d = kivt = 0. 17×8×l×100 = 136å

即每秒1.36å

溅射速度依赖于溅射系统本身的清洁程度,因此保护工作室的清洁十分重要。

其它金属靶的溅射速度,例如铂靶大约是金靶一半的速度,金一铂靶则具有与金靶非常接近的溅射速度。

设备使用注意事项

1.靶材的更换

先拔下溅射盖板上高压和地线插头,拿下溅射盖板,松开三只顶丝,拿下保护板,然后拧下压环就可以更换新靶。

2.真空工作室清洗

腔体工作室用无水乙醇、丙酮清洗,以保证系统能正常工作。

3、针阀使用

针阀关闭后再反向拧两圈,以防止针阀长时间不用出现阀针回弹不灵活的现象。如遇到打开针阀时不向工作室放气,请将针阀钮拧到底后再重新打开即可。

标配

1.nbd-4c真空泵; 2 金靶1只:φ58*0.12  3.说明书一份.(可选配分子泵)

捕鱼软件下载的服务支持

一年保修,提供终身服务;

净重

25kg

 


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