发布时间：2020-07-25 浏览次数：1168
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设备简介： 双温区的pecvd管式炉系统，组成部分为500w的射频发生器、可定位的独立滑动式烧结炉、高精度质量流量混合系统、稳定防反油真空系统。此款pecvd可用于生长纳米线或用cvd方法来制作各种薄膜。 |
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配置详情
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1. 清洗镀膜一气呵成，杜绝二次污染； 2. 上开启式结构，方便观察试样； 3. 产品采用全自动控制方式，触摸屏，数字化显示； 4. 可通过炉体滑动来达到快速升温和快速降温的效果； 5. 稳定的射频电源，均匀的温度分布，提高成膜质量； |
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产品型号 |
nbd-pecvd1200-50iit |
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电气规格 |
ac220v 3kw 射频功率：300或500瓦 13.56mhz |
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可达温度 |
1200 ℃ （<1小时） |
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连续温度 |
1100 ℃ （连续） |
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可达加热速率 |
≤ 20 ℃/分钟 |
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加热区长度 |
200mm 200mm（两个加热温区分别加热，分体式设计使温度梯度可以达到极限） |
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炉管尺寸 |
φ50*1800mm |
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射频线圈 |
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采用多节点镀银的水冷铜线圈，可匹配不同频率的射频电源 |
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控制系统 |
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1.可预存15条温度曲线，避免不同的实验工艺重复设置带来的麻烦； 2.实验过程更加直观，操作更加便捷； 3.可另选配无线控制模块，实现远程操控； 4.具有超温报警、断偶提示、漏电保护等。 |
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温度精度 |
/- 1 ℃ |
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加热元件 |
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mo掺杂的fe-cr-al合金 |
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密封系统 |
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真空度：≤10pa（机械泵），达到启辉条件。 |
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压力测量与监控 |
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采用数显真空计可直观显示设备的真空度，实验数据及效果更加准确。 |
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供气系统 |
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采用质量流量计控制，与设备一体化，方便控制，出厂前已进行漏气测试工作 |
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净重 |
100kg |
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设备使用注意事项 |
1. 设备炉膛温度≥300℃时，禁止打开炉膛，避免受到伤害； 2. 设备使用时，炉管内压力不得超过0.125mpa（绝对压力），以防止压力过大冲开密封法兰； 3. 高真空下使用时（10的负3次方pa），设备使用温度不得超过800℃。 |
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捕鱼软件下载的服务支持 |
1年有限保修，提供终身支持（保修范围内不包括易耗部件，例如炉管和o形圈等） |
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